氟硅污水是很多工业污水处理工程中都会遇到，在氟硅污水处理上一般会采用物化法来处理，但是常规的处理方法很难将其处理达标，要想将这类污水处理好，还需要进一步处理。
对于常规的含氟污水常用处理方法有沉淀法、吸附法和混凝沉降法，其中沉淀法主要应用于工业高浓度含氟污水，吸附法则多用于饮用水的处理，对于低含氟污水应用混凝沉降法较合适。但是在实际氟硅污水处理过程中，对于同时含有氟和硅、磷等的污水，在利用常规方法处理后氟离子含量往往不能达到排放标准，且水质不稳定，在环境条件改变的状况下，如受热氟离子含量可能出现反弹升高，存在环境污染的风险。
基于以上的情况，现开发出一种氟硅污水处理的深度处理技术。主要分为四个步骤。
先将含氟水样加热升温90‑95℃后进行保温10-20分钟;
再向水样缓慢加入药剂1，边加边搅拌，搅拌速度在2～3r/s，加完后，蒸煮0.5～1小时;
之后再加入药剂2，并调节pH至7～9，边加边搅拌，加完后保温2～3小时，保温过程中搅拌速度在0.5～1r/s;
完成后即可进行水合物沉淀与溶液的分离，过滤滤液即为出水。
这种氟硅污水深度处理技术是利用水热合成过程，使溶液中氟、硅、磷等元素矿化形成稳定水合物沉淀，并通过包覆、离子交换、吸附、络合等作用进行深度除氟，过滤滤液即为出水，可实现达标排放。
